特許
J-GLOBAL ID：200903067936129075
ステージ制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302602
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143547
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 従来のステージ制御装置においては、ワークの大きさを考慮した移動を行っていないために、ジョイスティックによりステージを移動させる場合に、ワークの範囲外の画像がモニタに映し出されることがあった。【解決手段】 ワーク29を載置するステージ1をX方向及びY方向に移動するステージ駆動部55、56と、撮像されたワーク29の映像を表示するモニタ27と、このモニタ27の映像が所定位置にくるようジョイスティック8を操作することによりステージ1の移動を指示し、この指示に従ってステージ駆動部55、56を制御するCPU11と、ワーク29の大きさに応じてステージ1の移動範囲を設定する終端入力部57を備えて、ワーク29の大きさに合わせたステージ1の移動を行うようにしたものである。
請求項（抜粋）：
被載置物を載置するステージ、このステージをX方向及びY方向に移動する駆動部、撮像された上記被載置物の映像を表示する表示部、この表示部の映像が所定位置にくるよう操作部を操作することにより上記ステージの移動を指示する指示部、この指示部の指示に従って上記駆動部を制御する制御部、上記被載置物の大きさに応じてステージの移動範囲を設定し、上記制御部の制御に基づく上記駆動部によるステージの移動を制限する移動範囲設定部を備えたことを特徴とするステージ制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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