特許
J-GLOBAL ID：200903067936132610
炭化けい素発熱体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-146491
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315056
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 高温域で温度制御が容易な正特性の抵抗温度特性を示し、使用時にダスト発生のない炭化けい素発熱体とその工業的な製造方法を提供する。【構成】 窒素を固溶したn型炭化けい素焼結体からなり、粒界バリアの高さが0.2eV 以下、残存ほう素量が0.15重量%以下、遊離炭素量が2重量%以下、相対密度が90%以上の組織性状を備える炭化けい素発熱体。製造方法は、β型炭化けい素粉末に所定量の非晶質ほう素粉末およびカーボンブラックを混合して成形する工程、真空または不活性ガス雰囲気中で焼結して相対密度80〜90%の予備焼結体を得る工程、予備焼結体を水中洗浄して余剰のほう素および炭素成分を除去する工程、加圧窒素雰囲気中で熱処理して窒素を固溶する工程からなる。
請求項（抜粋）：
窒素を固溶したn型炭化けい素焼結体からなり、粒界バリアの高さが0.2eV以下、残存ほう素量が0.15重量%以下、遊離炭素量が2重量%以下、相対密度が90%以上の組織性状を備えることを特徴とする炭化けい素発熱体。
IPC (3件)：
H05B 3/14
, C04B 35/56 101
, H05B 3/62
