特許

J-GLOBAL ID：200903067937301610

ポリッシング装置

発明者： 川面 貴裕
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079459
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】 研磨布に押圧されるガイドリング先端の形状精度を補完し、板状の被加工物表面のエッジ近傍を含む表面全体の加工量をより均一化する。【解決手段】 研磨布14に対向するガイドリング160の先端が、研磨圧力に対抗可能な弾力性を有する弾性体162と、この弾性体162の表面に設けられた耐研磨性を有する板状部材163とからなり、板状部材163の表面のうねりが研磨圧力による弾性体162の変形(圧縮)により緩和され、被加工物のエッジ近傍の加工量がより均一化される。

請求項（抜粋）：

板状の被加工物の裏面を受けて該被加工物を保持するポリッシングヘッドと、前記ポリッシングヘッドに設けられ同ポリッシングヘッドに保持された前記被加工物の外周をわずかな隙間を介して囲むガイドリングと、前記ポリッシングヘッドに保持された被加工物の表面を研磨加工するため、表面に研磨布を有すると共に、前記ポリッシングヘッドに対向して配置され、かつ前記ポリッシングヘッドと相対運動を行う定盤とを備え、研磨加工時に、前記研磨布に対向する前記ガイドリングの先端が、前記ポリッシングヘッドに保持された被加工物と共に前記研磨布に押圧され、前記被加工物の表面のエッジ近傍の研磨圧力の均一化を図るように構成されているポリッシング装置において、前記研磨布に対向する前記ガイドリングの先端が、前記研磨圧力に対抗可能な弾力性を有する弾性体と、この弾性体の表面に設けられた耐研磨性を有する板状部材とからなることを特徴とするポリッシング装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 E ,  B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (6件)：

3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17