カラーフィルタ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122446
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331818
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルタのブラックマトリクスパターンをフォトファブリケーション(フォトリソグラフ法)方式によりパターン形成する場合、フォトレジストの膜厚をできる限り小さく設定し、パターン露光時間の長大化を解消してブラックマトリクスパターンのパターンエッジ部分の精度の向上を図ることにある。【構成】ガラス基板1上にブラックマトリクスパターン2と、Blue,Green,Red各着色パターンから構成されるフィル色パターン5と、透明導電層等を備え、ブラックマトリクスパターンは、遮光性の酸化クロム膜により形成された第1パターン層3と、該第1パターン層上に整合積層された遮光性の感光性樹脂により形成された第2パターン層4とにより構成されたカラーフィルタ。

請求項（抜粋）：

ガラス基板1上にブラックマトリクスパターン2と、Blue,Green,Red各着色パターンから構成されるフィルタ色パターン5と、透明導電層等を備え、ブラックマトリクスパターン2は、遮光性の酸化クロム膜により形成された第1パターン層3と、該第1パターン層上に整合積層された遮光性の感光性樹脂により形成された第2パターン層4とにより構成されていることを特徴とするカラーフィルタ。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-282703
特開平4-242704
特開昭63-282703

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審査官引用 (4件)

特開昭63-282703
特開昭63-282703
特開平4-242704

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