特許

J-GLOBAL ID：200903067946251669

有害ガスの除害方法

発明者： 阿久津 仲男 ,  壺内 俊弘
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168411
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019620
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 揮発性無機水素化物やハロゲン化物、有機金属化合物等の有害ガスをプラズマ処理のみによって無害化することができ、新たな有害物質を発生させることなく、プラズマ処理装置内で有害成分を捕捉することが可能なプラズマ処理による有害ガスの除害方法を提供する。【構成】 減圧放電容器10内に設けたカソード20とアノード30との間にプラズマを発生させ、該プラズマ中に有害成分を含む排ガスを導入するとともに、前記カソードを所定温度に冷却し、前記アノードを所定温度に加熱する。有害成分は、プラズマにより陽イオンとなり、最終的にアノードを形成する物質と合金あるいは化合物を形成してアノード上に膜状となって捕捉される。

請求項（抜粋）：

減圧放電容器内に設けたカソードとアノードとの間にプラズマを発生させ、該プラズマ中に有害成分を含む排ガスを導入するとともに、前記カソードを所定温度に冷却し、前記アノードを所定温度に加熱することを特徴とする有害ガスの除害方法。

IPC (5件)：

B01D 53/32 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/46 ,  B01D 53/72 ,  B01D 53/68

FI (5件)：

B01D 53/32 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 120 D ,  B01D 53/34 134 Z