特許
J-GLOBAL ID：200903067951247653
処理液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043276
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236843
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 処理液収容部の交換を容易にし、被処理体のパーティクルの付着及び汚染防止を図れるようにした処理液供給装置を提供する。【構成】 レジスト液収容部23に、処理液供給ノズル31に接続する処理液送出口43を設けると共に、N2 ガスボンベ50に接続する加圧気体導入口44を設ける。処理液送出口43及び加圧気体導入口44に、雄ねじ部やカップラ雄部等の取付部を設ける。この取付部にそれぞれ不使用時に開口部を閉塞し、使用時には開口部を開放するキャップ部材47を着脱可能に装着し、使用時に処理液移送管34、N2 ガス供給管35を着脱可能に連結する。これにより、キャップ部材47を取り外した後、処理液送出口43及び加圧気体導入口44に処理液移送管34及びN2 ガス供給管35を接続することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体に処理液を供給する処理液供給手段と、上記処理液を貯留する処理液収容部と、上記処理液収容部内の処理液を上記処理液供給手段に移送すべく処理液収容部内を加圧する加圧気体供給手段とを具備する処理液供給装置において、上記処理液収容部に、上記処理液供給手段に接続する処理液送出口を設けると共に、上記加圧気体供給手段に接続する加圧気体導入口を設け、上記処理液送出口及び加圧気体導入口に、それぞれ不使用時に開口部を閉塞し、使用時には開口部を開放する閉塞部材を設けると共に、使用時に処理液移送管、加圧気体供給管を着脱可能に連結する取付部を形成してなることを特徴とする処理液供給装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 501
, H01L 21/304 341
