X線光軸の傾補正機構

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-373832
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174515
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】ワークマークの撮像をX線源及びX線カメラにて行い、マスクマークの撮像を通常のCCDカメラにて行う方式をとる装置のX線源の軸ずれ補正を行う装置を提供する。【解決手段】前記方式をとるX線源11とワークステージ13を同一のユニットの中に収めるようにしたワークステージ構造に用いられるX線光軸の傾補正機構2であって、前記ワークステージ13と前記X線源11とを連動させる際に、そのX線源11の基準光軸線に対する傾きを測定する傾斜測定手段51と、この傾斜測定手段51により測定した傾きの値を演算する演算手段3と、この演算手段3により演算した演算値に基づき前記X線源の位置を移動制御するためのX線源移動機構14とを備えるX線光軸の傾補正機構2。

請求項（抜粋）：

マスクマークを有するマスクを備えた透光板と、この透光板に対向する位置に設けられる、ワークマークを有する多層プリント配線板が載置されるワークステージと、このワークステージを前記透光板に接近及び離間させるための駆動手段と、前記多層プリント配線板及び前記マスクを挟んだ一側と他側に配置されるX線源、X線カメラ並びに撮像手段とを有するX線位置決め装置と、前記マスク又は前記多層プリント配線板のどちらか一方を整合移動させる整合機構とを備えるワークステージ構造に用いられるX線光軸の傾補正機構であって、前記駆動手段により、前記ワークステージと前記X線源とを連動させ前記透光板に接近させる際に、そのX線源の基準光軸線に対する傾きを測定する傾斜測定手段と、この傾斜測定手段により測定した傾きの値を演算する演算手段と、この演算手段により演算した演算値に基づいて前記X線源の位置を移動制御するための移動機構とを備えるX線光軸の傾補正機構。

IPC (5件)：

G01B 15/00 , G21K 5/00 , G21K 5/02 , H05K 3/00 , G01B 11/00

FI (6件)：

G01B 15/00 A , G21K 5/00 R , G21K 5/02 X , H05K 3/00 L , H05K 3/00 H , G01B 11/00 H

Fターム (34件)：

2F065AA07 , 2F065AA35 , 2F065BB27 , 2F065CC01 , 2F065EE00 , 2F065FF04 , 2F065FF63 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065MM03 , 2F065MM14 , 2F065PP12 , 2F065PP23 , 2F065QQ31 , 2F065SS13 , 2F067AA13 , 2F067AA15 , 2F067BB16 , 2F067BB21 , 2F067CC14 , 2F067CC16 , 2F067FF11 , 2F067FF12 , 2F067HH04 , 2F067JJ03 , 2F067KK06 , 2F067LL16 , 2F067NN06 , 2F067PP12 , 2F067RR35 , 2F067SS13 , 2F067TT01 , 2F067UU32

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