光学式エンコーダ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-212782
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094388
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】移動スリットと固定スリットとの位置合わせが容易で、かつ、位相差が変化しない高精度のエンコーダを得る。【構成】相対移動する一方の部材に固定され、移動方向に移動スリットを備えた移動スケール1 と、相対移動する他方の部材に固定され、拡散光を射出する光源と移動スケールとの間に空隙を介して配置され、光源スリットと光源スリットと同一平面上にあるインデックススリットからなる固定スケール2 と、移動スリットからの反射光をインデックススリットを介して検出する受光素子4 とを備え、受光素子出力の検出信号の周期的な変動から両部材の相対的変位を検出するもので、固定スケールの同一平面上に光源スリット21とインデックススリット22とが相対移動方向に沿って一列に配置され、かつ、インデックススリットは90degの位相差を持つ2個一組のものが少なくとも2組配置された構成にしている。

請求項（抜粋）：

相対移動する一方の部材に固定され、移動方向に複数の格子からなる移動スリットを備えた移動スケールと、相対移動する他方の部材に固定され、拡散光を射出する光源と移動スケールとの間に空隙を介して配置され、複数の格子からなる光源スリットと前記光源スリットと同一平面上にある複数の格子を有するインデックススリットからなる固定スケールと、前記移動スリットからの反射光を前記インデックススリットを介して検出する受光素子とを備え、前記受光素子出力の検出信号の周期的な変動から前記両部材の相対的変位を検出する光学式エンコーダにおいて、前記固定スケールの同一平面上に前記光源スリットと前記インデックススリットとが相対移動方向に沿って一列に配置され、かつ、前記インデックススリットは90degの位相差を持つ2個一組のものが少なくとも2組配置されたことを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/36 , G01D 5/34

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-103416
特開昭58-034305
特開平2-103416

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