特許

J-GLOBAL ID：200903067961252523

近接場光顕微鏡および近接場光顕微鏡用探針

発明者： 佐々木 靖夫
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163482
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033464
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】探針先端以外からの散乱光の影響が極力排除された、従って高分解能なSNOM像を得ることのできる、空気中で動作可能なSNOMを提供する。【解決手段】試料1を載せたスライドガラス2はマッチングオイル4を介して内部全反射プリズム3の上に配置される。試料1にはプリズム3を通してレーザー光が照射され、試料表面に近接場が発生される。試料1の上方にはカンチレバー101の自由端に支持された探針106が配置され、その上方には対物レンズ19が配置されている。対物レンズ19とその上方に配置された散乱光検出鏡筒222が配置されており、近接場への探針106の進入により発生する散乱光を検出する散乱光検出光学系を構成する。探針106はテトラポッド形状をしており、一方向に延びる延出部107を有している。この延出部107は、その先端から入射光の波長以上の長さに渡って、太さが最大で先端径の2倍以内である。

請求項（抜粋）：

試料表面に光を入射させる入射手段と、先端が上記光の入射する試料表面に近接した位置に配置された探針と、上記探針で散乱された光を検出する光検出手段と、上記試料と上記探針の先端を相対的に走査する走査手段を具備する近接場光顕微鏡において、上記探針の上記先端は上記探針本体より一方向に延出する延出部の先端であり、上記延出部の上記先端側は、上記入射光の波長以上の長さに渡って、太さが最大で上記先端径の3倍以内であり、上記近接場光顕微鏡は、上記探針を上記延出部の長さ方向に振動させる手段をさらに具備することを特徴とする近接場光顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 37/00 D ,  G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z

Fターム (23件)：

2F065AA02 ,  2F065AA49 ,  2F065DD03 ,  2F065FF43 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP04 ,  2F065PP24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13