特許
J-GLOBAL ID:200903067963308097
基板外観検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
鈴木 由充
, 小石川 由紀乃
, 新田 研太
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-207766
公開番号(公開出願番号):特開2009-042089
出願日: 2007年08月09日
公開日(公表日): 2009年02月26日
要約:
【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。【解決手段】基板Sの上方に、カラーカメラ1Aと赤外線カメラ1Bとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ1A,1Bと基板Sとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第1照明部2Aと、カメラ1Aの光軸11に沿って赤外光を照射する第2照明部2Bとを設ける。カメラ1Aでは、第1照明部2Aからの光に対する基板Sからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ1Bは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて5段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
はんだ付け後のプリント基板を対象に外観検査を行う装置であって、
検査対象の基板の上方に受光面が基板面に対向するように配備され、前記基板のカラー画像を生成する第1の撮像手段と、
混合すると白色光になる関係にある複数の可視光を、それぞれ基板面に対する仰角が異なり、かつ第1の撮像手段の光軸に対して斜めになる方向から基板面に照射する第1の照明手段と、
前記第1の照明手段による照明方向よりも基板面に対する仰角が大きくなる方向から基板面に非可視光を照射する第2の照明手段と、
前記第2の照明手段から照射された非可視光に対する基板面からの反射光のうち前記第1の撮像装置の光軸に沿って進行する反射光が入射するように配置され、この反射光の入射状態を反映した濃淡画像を生成する第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段により生成されたカラー画像と第2の撮像手段により生成された濃淡画像とを用いて前記基板上のはんだに対する検査を行うとともに、はんだ以外の部位について、前記カラー画像中の対応箇所の画像を用いた検査を実行する検査実行手段とを備え、
前記検査実行手段は、はんだに対する検査において、前記カラー画像中のはんだに対応する箇所のうち第1の照明手段からの照明光に対応する色彩が現れた部分については、出現した色彩に対応する照明光の照射方向に基づいて傾斜状態を判別し、暗領域となった部分については、前記濃淡画像中の対応領域の明度に基づいて傾斜状態を判別する基板外観検査装置。
IPC (5件):
G01N 21/956
, G01B 11/24
, G01B 11/26
, H05K 13/08
, H05K 3/34
FI (5件):
G01N21/956 B
, G01B11/24 K
, G01B11/26 H
, H05K13/08 U
, H05K3/34 512A
Fターム (61件):
2F065AA36
, 2F065AA49
, 2F065AA53
, 2F065AA58
, 2F065BB05
, 2F065CC26
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG15
, 2F065GG21
, 2F065GG23
, 2F065HH02
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL05
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065NN06
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065SS03
, 2F065SS04
, 2F065SS13
, 2F065UU01
, 2F065UU05
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051AC21
, 2G051BA01
, 2G051BA02
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051BB02
, 2G051BB03
, 2G051BB11
, 2G051BB20
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC11
, 2G051DA07
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EA20
, 2G051EB01
, 2G051ED01
, 2G051ED07
, 2G051ED21
, 5E319AA03
, 5E319CC22
, 5E319CD53
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特公平6-1173号公報
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曲面性状検査装置の照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-096697
出願人:オムロン株式会社
審査官引用 (6件)
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ハンダ立体形状検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-165858
出願人:松下電工株式会社, 株式会社日平トヤマ
-
検査装置及び製品製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-096399
出願人:小林茂樹
-
特公平6-001173
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