特許

J-GLOBAL ID：200903067967248986

基板搬送装置および基板搬送方法

発明者： 衛藤 澄男
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-296145
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142560
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板の破損を防止する信頼性の高い基板搬送装置および方法を提供する。【解決手段】 基板搬送装置は、基板2を搭載する移動自在なアーム4と、基板2をアーム4上で位置決めするための位置決めガイド10と、基板2を載せて基板2を位置決めガイドに当接させるための位置決めフォーク5と、位置決めフォーク5を垂直および水平に移動させるフォーク移動手段と、位置決めガイド10に設けられて位置決めガイド10より下方に基板2が存在するか否かを検出する基板検出センサ82とを備え、基板検出センサ82が基板2を検出しない場合にのみ、位置決めフォーク5は基板2を載せて位置決めガイド10に当接させて位置決めを決定する。この時、検出センサ82がONの場合、搬送処理は停止される。

請求項（抜粋）：

基板を搭載する移動自在なアームと、前記基板を前記アーム上で位置決めする位置決めガイドと、前記基板を載せて前記基板を前記位置決めガイドに当接させる位置決めフォークと、前記位置決めフォークを垂直および水平に移動させるフォーク移動手段と、前記位置決めガイドの直下に基板が存在するか否かを検出する、前記位置決めガイドに設けられた基板検出センサとを備え、前記基板検出センサが基板を検出した場合、前記フォーク移動手段は前記位置決めフォークの移動を停止することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 L ,  B25J 15/08 V ,  B65G 49/07 E

Fターム (22件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007JS02 ,  3C007KS03 ,  3C007KX19 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031JA51 ,  5F031KA02 ,  5F031LA11 ,  5F031LA15 ,  5F031PA02 ,  5F031PA20