透明導電体及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021009
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230716
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】十分な層間の密着性を有し、しかも表面硬度ならびに透明性に優れた透明導電体を提供する。【構成】透光性樹脂基板11上に、シリコン系縮合物層12、シリコン酸化物層13、酸化亜鉛とシリコン酸化物との混合層14、一定濃度のシリコンを含有する酸化亜鉛層からなる導電膜15がこの順序で設けられ、前記混合層14中における酸化亜鉛濃度がシリコンを含有する酸化亜鉛層側に近づくに従って次第に高くなるように形成されている。

請求項（抜粋）：

透光性樹脂基板上に、シリコン系縮合物層、シリコン酸化物層、酸化亜鉛とシリコン酸化物との混合層、一定濃度のシリコンを含有する酸化亜鉛層からなる導電膜がこの順序で設けられ、前記混合層中における酸化亜鉛濃度がシリコン含有酸化亜鉛層側に近づくに従って次第に高くなるように形成されていることを特徴とする透明導電体。

IPC (5件)：

H01B 5/14 , C01G 9/02 , C08J 7/06 , C23C 14/10 , H01B 13/00 503

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