特許
J-GLOBAL ID：200903067977802736
リニアモータにより駆動される2軸テーブル装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054348
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243866
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：
【要約】【目的】 リニアモータを用いた2軸テーブル装置のケーブル処理を改善する。【構成】 固定ベッド38の上方に2つの直線移動要素、つまり、第1テーブル部40、第2テーブル部42を有した2軸(X軸、Y軸)テーブル装置のX軸駆動手段、Y軸駆動手段を構成する2つのリニアモータ48、50の固定磁石要素48a、50aと励磁コイル要素48b、50bとの配設構造を工夫すると共に一つの帯状可撓ケーブル支持部材60のみを用いてケーブル処理を行う2軸テーブル装置を形成した。
請求項（抜粋）：
固定ベッドの上方で第1のリニアモータ手段を介して第1の軸方向に直線移動する第1のテーブル部と、該第1のテーブル部の上方で第2のリニアモータを介して前記第1の所定軸方向と直交した第2の軸方向に直線移動する第2のテーブル部とを備えたリニアモータにより駆動される2軸テーブル装置において、少なくとも前記第1テーブル部の上方に配設された第2テーブル部を駆動する前記第2リニアモータにおける固定磁石要素は該第2テーブル部の底面に設け、かつ、前記第1テーブル部と共に移動可能に該第1テーブル部に一端を結合した可撓ケーブル支持部材を設け、前記第2リニアモータにおける励磁コイル要素を前記第2テーブル部に固定すると共に該励磁コイル要素に前記可撓ケーブル支持部材から導電線、配流ホースを静止配線、配管した、ことを特徴とするリニアモータにより駆動される2軸テーブル装置。
IPC (3件)：
B23Q 1/62
, H02K 41/02
, H02K 41/03
B23Q 1/18 A
, H02K 41/02 Z
, H02K 41/03 A
