特許
J-GLOBAL ID：200903067984544432
走査型力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261369
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109463
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 探針と試料表面間の衝突を防ぐと共に、試料表面形状及び表面状態の測定を高精度に行うことが可能な走査型力顕微鏡を提供する。【構成】 試料36の表面と探針21との間に働く力を複数の力成分に分離して測定することにより試料36の表面分布を観察する走査型力顕微鏡において、分離測定された試料36の表面と探針21との間に働く力の成分からその力のベクトルを求める力ベクトル測定手段25を設け、その測定された力のベクトルの大きさが一定になるように試料36の表面と探針21との間の距離を定める複数個のアクチュエータ35を駆動制御する試料探針間距離制御手段28を設けた。
請求項（抜粋）：
試料の表面と探針との間に働く力を複数の力成分に分離して測定することにより前記試料の表面分布を観察する走査型力顕微鏡において、前記分離測定された試料表面と前記探針との間に働く力の成分からその力のベクトルを求める力ベクトル測定手段を設け、その測定された力のベクトルの大きさが一定になるように前記試料の表面と前記探針との間の距離を定める複数個のアクチュエータを駆動制御する試料探針間距離制御手段を設けたことを特徴とする走査型力顕微鏡。
IPC (2件)：
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