特許

J-GLOBAL ID：200903067990830722

基板搬送方法および基板搬送装置

発明者： 津田 樹宏 ,  引間 郁雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088205
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283604
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 複雑な機構を有しスペースを必要とする装置を用いずに、基板のプリアライメントを行うことができる基板搬送方法および基板搬送装置を提供する。【解決手段】 ロボットのハンド33Aでウエハ6を把持し、ウエハ6を基部BAの旋回軸上に移動させるようにロボットのアーム31、32、33を操作し、検出手段1、2、4、5によりハンド33Aに把持されたウエハ6とハンド33Aとの間の相対位置および相対角度を検出し、検出した相対角度に基づいてウエハ6の向きを所定の方向に向けて差し出すようにアーム31、32、33を操作するとともに相対位置に基づいてウエハ6が所定位置に載置されるように次段のステージ7を所定位置で待機させてウエハ6をステージ7に受け渡す。

請求項（抜粋）：

基部と、前記基部に設けられた旋回軸を中心に旋回可能に取付けられた多関節アームと、前記アームに取付けられたハンドとを備えるロボットを用いて基板を搬送する基板搬送方法において、前記ロボットのハンドで基板を把持し、前記基板を前記基部の旋回軸上に移動させるように前記ロボットのアームを操作し、前記ハンドに把持された前記基板と前記ハンドとの間の相対位置および相対角度を検出し、検出した前記相対角度に基づいて前記基板の向きを最終位置で所定方向に向くように前記アームを操作するとともに前記相対位置に基づいて前記基板が所望の位置に載置されるように次段のステージを所定位置で待機させて前記基板を前記ステージに受け渡すことを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 A ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 521