特許
J-GLOBAL ID：200903067993958061
静電チャック試料台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-038073
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252062
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 離脱の安定性が向上し、待ち時間が不要でスループットが高い静電チャック試料台を提供すること。【構成】 チャンバ底板5上に静電チャック1が配設され、試料Sが載置される。試料離脱機構2のシャフト2c の周りに環装された二重ベローズ8の外側ベローズ8b 内部に空気を導入,排出し、その内部圧を大気圧より高く又は低く調整することにより、二重ベローズ8が伸縮し試料離脱機構2が移動する。そして、空気弁3b 及び圧力調整弁3d が外側ベローズ8b 内部圧の微調整を行って、試料Sの限界吸着力より小さい離脱力を試料離脱機構2に与え、試料Sを離脱する。また、変位検出光センサ4が試料Sの離脱を検知し、試料離脱機構2は試料Sを上昇位置まで持ち上げる。
請求項（抜粋）：
吸着した試料に、これを離脱する方向の離脱力を移動により加える離脱手段を備えた静電チャック試料台において、離脱ミス発生の限界離脱力より小さな離脱力を試料に加えるべく、前記離脱手段への加圧により、前記離脱力と反対方向の引張力を前記離脱手段へ与える圧力調整手段を備えることを特徴とする静電チャック試料台。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H02N 13/00
