特許
J-GLOBAL ID：200903067996376799
走査プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043938
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239329
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 走査プローブ顕微鏡において、1回の測定で試料表面の凹凸像と試料表面の磁気分布像を得る。【解決手段】 カンチレバー1は固有振動数近傍で自励発振される。また、探針2は発振器24からの交流電流によって磁化される。FM検波器22の出力はLPF23によりカンチレバー1の加振周波数に依存しない信号のみが分離され、誤差増幅器10で基準電圧との差がとられて凹凸像の作成に用いられる。また、FM検波器22の出力はロック・イン・アンプ(LIA)25に供給され、発振器24の出力信号によって位相検波されて磁気分布像の作成に用いられる。
請求項（抜粋）：
試料に対向して配置されたカンチレバー及び探針と、カンチレバー及び探針が試料との間の物理力によって変位する変位量を検出する第1の検出手段とを備えた走査プローブ顕微鏡であって、カンチレバー及び探針をその固有振動数近傍で振動させる、あるいはその固有振動数で発振させる手段と、第1の検出手段の出力信号からカンチレバーの固有振動数の変化に相当する信号を分離検出する第2の検出手段と、第2の検出手段の出力に基づいて試料の高さ制御を行うフィードバック制御回路と、カンチレバー及び探針をカンチレバーの固有振動数より低く、且つフィードバック制御系の応答周波数より高い周波数でカンチレバー及び探針に交番磁極を励磁するための励磁手段と、第1の検出手段の出力信号から、カンチレバー及び探針に交番磁極を励磁するための周波数に依存する信号を分離検出する第3の検出手段と、第2の検出手段の出力、第3の検出手段の出力に基づいて、それぞれ試料表面の凹凸像、磁気分布像を得る手段とを備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 H
, G01B 21/30 Z
