特許

J-GLOBAL ID：200903068002822627

ガスセンサ及びガス識別方法

発明者： 柳田 博明 ,  宮山 勝 ,  疋田 和康
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249526
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103924
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】ガスの種類を識別できるガスセンサ及びガス識別方法を提供する。【構成】センサヘッド10を炉50に保持した状態で、気体を流し、センサヘッド10に直流電圧電流特性(HP)およびDCバイアスを印加する。センサヘッド10の電圧、電流を、電圧計(YOKOGAWA 7651)52、電流計(YOKOGAWA 7562)54で測定すると共に、低周波インピーダンス分析器56を用いて複素インピーダンス(HP4192A)を測定する。

請求項（抜粋）：

端面同士がヘテロ接合することにより接合部が形成されたp型酸化物半導体及びn型酸化物半導体を有するセンサヘッドと、前記接合部に、直流バイアスが重畳された交流信号を印加する信号印加手段と、前記接合部のインピーダンス特性を測定するインピーダンス測定手段とを備えたことを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/02