特許

J-GLOBAL ID：200903068008176280

ドライフィルム用組成物及びドライフィルム

発明者： 林 宏三郎 ,  内藤 啓一
出願人/特許権者： ソニーケミカル株式会社
代理人 (1件)： 田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339596
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184962
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】 色選別マスクの構成素材である低炭素アルミキルド鋼箔等の鉄系金属材料を、ドライフィルムを用いて、高い感度と解像度でフォトエッチングできるようにする。【構成】 ドライフィルムの感光性塗膜を形成するドライフィルム用組成物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤、(d) 染料及び(e) リン酸エステル変性不飽和化合物から形成し、かつ(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤及び(d) 染料の合計の固形分100重量部に対して1.0〜7.0重量部含有させる。

請求項（抜粋）：

(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤、(d) 染料及び(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を含有してなり、かつ(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤及び(d) 染料の合計の固形分100重量部に対して1.0〜7.0重量部含有していることを特徴とするドライフィルム用組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 ,  C08J 5/18 ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/14