特許

J-GLOBAL ID：200903068011933474

研磨ヘッド

発明者： 一ノ瀬 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237657
公開番号（公開出願番号）：特開平7-088762
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 カウンターバランス用の重り、滑車、ワイヤ等を省き、構造を簡素化し小型化する。【構成】 ハウジング2、ハウジング内に置かれたモータ本体7、モータ本体を上下に貫き、該モータ本体によって回転させられる円筒状回転軸3、ハウジングの上に載置された加圧手段1、円筒状回転軸内を貫いて加圧手段から下に延びた加圧ロッド4、円筒状回転軸の下端と加圧ロッドの下端が上下方向において同一の位置にあり、その下端に取り付けられた工具5からなる研磨ヘッド。ハウジング2が研磨機に支持、固定される。

請求項（抜粋）：

ハウジング、該ハウジング内に置かれたモータ本体、該モータ本体を上下に貫き、該モータ本体によって回転させられる円筒状回転軸、前記ハウジングの上に載置された加圧手段、前記円筒状回転軸内を貫いて前記加圧手段から下に延びた加圧ロッド、及び前記円筒状回転軸の下端と加圧ロッドの下端が上下方向において同一の位置にあり、その下端に取り付けられた工具からなる研磨ヘッド。