特許
J-GLOBAL ID：200903068012094590
ウエハ周辺部クリーニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219159
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069126
出願日： 1992年08月18日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの周辺部のレジストを完全に除去できるとともに、レジスト以外のゴミ等も除去することができるウエハ周辺部クリーニング装置を提供すること。【構成】 ウエハ1の周辺部2dは有機溶剤がしみ込んでいるクリーニングリボン9と接触している。周辺部2dがクリーニングリボン9に対して相対的に移動することにより、周辺露光やサイドリンス処理後に周辺部2d上に残っている不要レジスト等を完全に除去することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハの周辺部に付着した付着物を除去するウエハ周辺部クリーニング装置であって、前記周辺部と接触する接触手段と、前記周辺部に前記接触手段を接触させた状態で前記周辺部を前記接触手段に対して相対的に移動させて前記付着物を除去する移動手段と、を備えたウエハ周辺部クリーニング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01L 21/304 341
