特許

J-GLOBAL ID：200903068012474660

位置合わせマークおよび位置合わせ方法

発明者： 宮武 勤
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (2件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-261172
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103697
出願日： 2002年09月06日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】限られた面積内に複数種類のアラインメントマークを配置するのに適した位置合わせ用アラインメントマークを提供することである。【解決手段】複合位置合わせマークは、輪郭により第1の位置合わせ機能に対し位置合わせマークの役割を果たし、輪郭内の構造により第2の位置合わせ機能に対し位置合わせマークの機能を果たす。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

輪郭により第1の位置合わせ機能に対し位置合わせマークの役割を果たし、輪郭内の構造により第2の位置合わせ機能に対し位置合わせマークの機能を果たす複合位置合わせマーク。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00

FI (5件)：

H01L21/30 502M ,  G01B11/00 A ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 510

Fターム (24件)：

2F065AA01 ,  2F065AA12 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD19 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065LL43 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  5F046BA02 ,  5F046EA07 ,  5F046EA08 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FB15 ,  5F046FC05