特許

J-GLOBAL ID：200903068013268109

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者： 池上 佳秀
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-027405
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217673
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ内の電気特性の周波数偏差を解消するための構造とその製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電基板上に、1以上の励振電極と、該励振電極の両端部に弾性表面波の伝播方向に直交する方向に線状を成し、かつ特性調整用の導電体が形成されている弾性表面波装置とする。また、その弾性表面波装置の製造方法においては、圧電基板上に金属膜を被着形成する工程、前記金属膜上に、1以上の励振電極を成す画像反転フォトレジストパターン及びその両端部にそれより厚い線状の画像反転フォトレジストパターンを形成する工程、前記金属膜の前記画像反転フォトレジストパターンで覆われていない領域をエッチングする工程、前記画像反転フォトレジストパターンを除去する工程を順次行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上に、励振電極と、該励振電極の両端部でかつ弾性表面波の伝播方向に直交する方向に線状を成す周波数調整用の導電体とが形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/145 D ,  H03H 3/08

Fターム (17件)：

5J097AA13 ,  5J097AA28 ,  5J097AA29 ,  5J097AA32 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097DD13 ,  5J097DD19 ,  5J097DD25 ,  5J097DD28 ,  5J097FF01 ,  5J097FF03 ,  5J097GG01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG04 ,  5J097HA02 ,  5J097KK09