特許

J-GLOBAL ID：200903068017647694

磁性素子及びその製造方法

発明者： 橋本 俊一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-359152
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204034
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【構成】 本発明によるハードディスクは、基板31上に設けられた磁性薄膜31を微細加工してなる超微細な凸条32a又はドット状凸部32bが形成された構造としている。この超微細な凸条32aやドット状凸部32bは、走査形トンネル顕微鏡(STM)の探針を用いての原子オーダでの微細加工によって形成される。【効果】 STMの原子オーダでの解像度により、原子オーダでの微細加工が可能であり、原子オーダの超微細なパターンで磁性薄膜が形成される。従って、上記のような超微細な領域で磁束を発生でき、垂直記録が可能であり、更に各トラック間の相互作用が防止される。その結果、トラック幅を極狭にして記録密度が著しく向上し、コンパクト化も可能である。

請求項（抜粋）：

走査形トンネル顕微鏡の探針による原子オーダでの微細処理で形成された磁性体パターンを有する磁性素子。

IPC (8件)：

H01F 10/00 ,  C23F 4/00 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/85 ,  H01F 41/14 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28