特許

J-GLOBAL ID：200903068018157127

基板搬送装置

発明者： 藤山 泰三 ,  浜本 員年 ,  西村 利通
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102509
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291360
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 正確に搬送、停止、位置決めできる基板搬送装置をえる。【解決手段】 長手に沿い複数の室を持つように両端および内部がゲート手段で区画された真空容器、同真空容器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ基板搬送台車、真空容器の内外に長手方向に複数設けられ少くとも1つがラックと噛合うように配置されたステッピングモータ駆動式のピニオン、同ピニオンを少くとも2つづつ同期駆動する同期駆動手段を設ける。

請求項（抜粋）：

長手に沿い複数の室を持つように両端および内部がゲート手段で区画された真空容器と、同真空容器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方向に複数設けられ少くとも1つが上記ラックと噛合うように配置されたステッピングモータ駆動式のピニオンと、同ピニオンを少くとも2つづつ同期駆動する同期駆動手段とを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

C23C 16/44 ,  B65G 49/00 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  C23C 14/56

FI (6件)：

C23C 16/44 F ,  B65G 49/00 A ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/68 A ,  C23C 14/50 K ,  C23C 14/56 G