特許

J-GLOBAL ID：200903068018585765

空間光変調素子および空間光変調器

発明者： 荒木 敬介 ,  藤林 和夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165446
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029707
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】各画素に対応する反射型の空間光変調素子を配列して構成される空間光変調器において、少ない画素数で拡散ディザ法などによる多階調の階調表現が行なえるようにする。【構成】空間光変調素子の反射面を構成するフラップ16の表面に、反射率を制御するための反射率制御膜21を設ける。反射率の異なる複数種類の空間光変調素子を配列して空間光変調器を構成する。

請求項（抜粋）：

反射部材と、前記反射部材との間に作用するクーロン力によって前記反射部材を変位させる電極とを有し、前記反射部材の変位に応じて前記反射部材からの反射光の出射方向を変化させる空間光変調素子において、前記反射部材の反射率を制御するための反射率制御膜が前記反射部材の表面に設けられていることを特徴とする空間光変調素子。