特許
J-GLOBAL ID：200903068021583889

圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器

発明者：
棚谷 英雄

棚谷 英雄 について

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城倉 寿成

城倉 寿成 について

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大城 敦史

大城 敦史 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367743
公開番号（公開出願番号）：特開2005-136499
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】温度の変化に対する周波数偏差の変化を小さくして温度特性の優れた圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器を提供すること。【解決手段】基部51と、基部51から平行に延びる複数の振動腕34,35とを有しており、基部51には切り込み部100が設けられており、振動腕34,35の表面部と裏面部には溝部56,57が形成され、振動腕34,35の少なくとも溝部56,57には、駆動用の電極が設けられており、駆動用の電極は、下地層75Aと下地層75Aに形成された電極層75Bを有し、下地層75Aの厚みtが、0.07μm<t<0.3μmの範囲である。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基部と、 前記基部から平行に延びる複数の振動腕とを有しており、 前記基部には切り込み部が設けられており、前記振動腕の表面部と裏面部には溝部が形成され、 前記振動腕の少なくとも前記溝部には、駆動用の電極が設けられており、 前記駆動用の電極は、下地層と前記下地層に形成された電極層を有し、前記下地層の厚みtが、0.07μm<t<0.3μm の範囲であることを特徴とする圧電振動片。
IPC (6件)：
H03H9/19 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H9/215
FI (8件)：
H03H9/19 L ,  H03H3/02 B ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101A
Fターム (17件)：
5J108AA04 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF03 ,  5J108FF04 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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