特許
J-GLOBAL ID：200903068021856486
ベアチップ検査機のベアチップ供給排出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020918
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194031
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 チップの製造工程に合わせて種々のロット送りを選択可能にする。【構成】 ベアチップ導通検査装置4との間でベアチップの供給又は排出を行うベアチップ検査機1のベアチップ供給排出装置2であり、2系統のパレットフィーダ17と、不良品用パレット26,予備用パレット27と、ベアチップを供給排出するXYロボット18を備えると共に、3種類の運転モードを有している。第1のモードは、導通検査を行いながらベアチップを一方のパレットフィーダ17から他方のパレットフィーダ17に移動させ、不良品がでた場合には予備用パレット27から補充する。第2のモードは、導通検査を行ったベアチップを同じパレットフィーダ17に戻し、不良品がでた位置は空のままの状態にしておく。第3のモードは、導通検査を行ったベアチップを元のパレットフィーダ17に戻すと共に、不良品がでた場合には予備用パレット27から補充する。
請求項（抜粋）：
チャックで保持したベアチップを検査プローブに接触させて導通検査を行うベアチップ導通検査装置に未検査のベアチップを供給すると共に、検査済みのベアチップを排出するベアチップ検査機のベアチップ供給排出装置において、2系統のベアチップフィーダと、2箇所に設けられたベアチップ置場と、これら第1及び第2ベアチップフィーダ、第1及び第2ベアチップ置場及び前記チャックの間を移動してベアチップを供給排出するロボットを備え、該ロボットは検査結果により不良品を除外する3種類の運転モードのうち少なくとも1つの運転モードを有し、第1のモードは、検査前のベアチップを第1ベアチップフィーダで供給し、検査後の良品ベアチップを第2ベアチップフィーダで排出すると共に不良ベアチップを第1ベアチップ置場に移し、さらに、不良ベアチップがでた場合には第2ベアチップ置場の検査前ベアチップを検査した後良品ベアチップを第2ベアチップフィーダに補充する運転を行うものであり、また、第2のモードは、検査後の良品ベアチップを、当該ベアチップを供給したベアチップフィーダに戻すと共に、不良ベアチップを第1ベアチップ置場に移動させる運転を行うものであり、さらに、第3のモードは、検査後の良品ベアチップを、当該ベアチップを供給したベアチップフィーダに戻すと共に、不良ベアチップを第1ベアチップ置場に移動させ、且つ、第2ベアチップ置場の検査前ベアチップを検査した後良品ベアチップを前記ベアチップフィーダに補充する運転を行うものであることを特徴とするベアチップ検査機のベアチップ供給排出装置。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, B25J 13/00
, B65G 47/91
, H01L 21/66
