特許

J-GLOBAL ID：200903068022312595

感光性樹脂組成物

発明者： 佐藤 弘章
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191137
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022062
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 感度、細線密着性、レジスト剥離性、耐サンドブラスト性に優れドライフィルムレジストに有用な感光性樹脂組成物を提供すること。【解決方法】 カルボキシル基含有ジオールとポリイソシアナートとの反応で得られ、末端にアクリル基を有するウレタンアクリル化合物(A)、酸値が50〜250mgKOH/gのカルボキシル基含有バインダーポリマー(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示されるカルボキシル基含有ウレタンアクリル化合物(A)、バインダーポリマー(B)及び光重合開始剤(C)からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R1はエチレン性不飽和基を1個以上有し、かつヒドロキシル基を1個有する分子量200以上の化合物のウレタン結合残基、R2はポリイソシアネート化合物の両端ウレタン結合残基、R3はカルボキシル基含有ジオール化合物の両端ウレタン結合残基で、nは1〜20の整数である。

IPC (6件)：

G03F 7/027 513 ,  C08F 2/50 ,  C08F299/06 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/035

FI (6件)：

G03F 7/027 513 ,  C08F 2/50 ,  C08F299/06 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/035

Fターム (75件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC45 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025BC92 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025FA42 ,  4J011AA05 ,  4J011QB24 ,  4J011QC03 ,  4J011RA03 ,  4J011RA10 ,  4J011RA12 ,  4J011SA01 ,  4J011SA07 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA36 ,  4J011SA41 ,  4J011SA42 ,  4J011SA54 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AE01 ,  4J027AE02 ,  4J027AG03 ,  4J027AG04 ,  4J027AG05 ,  4J027AG09 ,  4J027AG14 ,  4J027AG23 ,  4J027AG24 ,  4J027AJ01 ,  4J027AJ05 ,  4J027AJ08 ,  4J027AJ09 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA14 ,  4J027BA16 ,  4J027BA20 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA03 ,  4J027CB10 ,  4J027CC02 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10