特許
J-GLOBAL ID：200903068039540710
縮小投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-086734
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234853
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 半導体分野における縮小投影露光装置において、露光に必要な光源を集光するための楕円鏡(6)および光学部品を曇らないようにする。【構成】 ランプハウス(7)の空気の取り入れ口に空気清浄剤(2)、ヘパフィルター(3)、ファン(4)を設け、ランプハウス(7)内楕円鏡(6)の反射面の裏側にヒーター(1)、温度センサー(9)を取り付けたものである。またヒーター電源(10)、温度コントローラー(11)は外部に別に設置されている。
請求項（抜粋）：
半導体分野における縮小投影露光装置において、水銀ランプ(5)が発生する光を集光し反射するための楕円鏡(6)にヒーター(1)を取り付け、温度センサー(9)と温度コントローラー(11)により、楕円鏡(6)を任意の設定温度で保温できることを特徴とした装置。ならびにその装置を使用した露光方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
