特許
J-GLOBAL ID：200903068041504314
フルイディック流量計
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042299
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210885
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 流路内の圧力変動によらずにフローセンサによって安定した流量測定を行う。【構成】 フローセンサ36〜39は、フルイディック素子を構成するノズル2部1の流路中に気体の流れ方向に沿って相互に距離を隔てて配設される。ノズル部21は、その下流側にフルイディック発振を生起させるための気体噴流を生成する。各フローセンサ36〜39は相互に同期して間欠的に駆動され、それぞれの位置における流速に応じた信号を間欠的に出力する。これらの信号を基に平均流速を求めることにより、流路内の比較的高周波の圧力変動による流速変動があっても、安定した流速測定ができる。低流量域ではフローセンサ36〜39から得られた平均流量を用い、高流量域ではフルイディック発振から得られた流量を用いる。これにより、全流量域にわたって安定した流量測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
流体噴流を発生させるためのノズル部を有すると共にこのノズル部からの噴流によって流速に応じたフルイディック発振を生起するフルイディック素子と、このフルイディック素子により生起されたフルイディック発振の周波数に基づき高流量域における流量を求める第1の流量検出手段と、前記フルイディック素子のノズル部内の流路中における流体の流れ方向に沿って相互に距離を隔てて配設され、それぞれの位置での流速に応じた信号を同期的に出力する複数の熱式流速センサと、これらの熱式流速センサから同期的に出力される信号から流速の平均値を求め、この演算値から低流量域における流量を求める第2の流量検出手段とを備えたことを特徴とするフルイディック流量計。
IPC (3件)：
G01F 1/20
, G01F 1/68
, G01F 7/00
