特許
J-GLOBAL ID：200903068048890120
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198370
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018728
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 被検査体の表面に一定のパターンを投影し、パターンの歪みを検出する。【構成】 感光体シームレスベルトなどの被検査体1は円筒体2,3により支持され、かつ円筒体3は駆動装置4および動力を伝えるベルト5により回転駆動し、被検査体1を駆動する。被検査体1の表面の撮像領域は、光源6と投光レンズ7と拡散板8とよりなる照明装置9で均一照明され、撮像レンズ10およびCCDなどの撮像デバイス11により撮像される。被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影するために、光源12とパターンを記録したスライド13とプロジェクタレンズ14とから構成される投影装置15を備えている。投影装置により格子パターンの輝度分布を被検査体の表面に投影し、そのパターンの変形から被検査体の表面の変形を検出することができる。
請求項（抜粋）：
被検査体であるベルト状物体を支持する支持手段と、該支持手段を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段により駆動される被検査体の表面を照明する照明手段と、前記被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影する投影手段と、前記照明手段により照明された前記被検査体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投影されたパターンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた撮像画像を処理して前記被検査体の表面の欠陥を検出する画像処理手段とから成ることを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/89
, G03G 5/00 101
