特許
J-GLOBAL ID：200903068055258413
ターボ形真空排気装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤澤 一博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117146
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311198
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】反応生成物の付着を簡単な機構で防止できるターボ形真空排気装置を提供する。【解決手段】ガス軸受31、32を用いたターボ形真空排気装置100において、ガス軸受31、32に冷却用の不活性ガスを供給している点に着目し、冷却作用を終えて高温になった前記不活性ガスを利用してロータ1を加熱できるように、この高温化した不活性ガスを、ロータ1に接触させるための不活性ガス流通経路8を設けた。
請求項（抜粋）：
ハウジングと、このハウジング内部に収容され回転翼を外周面に設けてなるロータと、このロータに一端側を一体的に取着された支持軸と、この支持軸とハウジングとの間に介在し、該支持軸を他端側において回動自在に支持するガス軸受と、該支持軸を回動させるためのモータとを具備し、ロータの回転によって吸入口からエッチングガス等のガスを吸入しロータに沿ってこのガスを移動させて排気口からガスを排気するものであって、ハウジング外部からハウジング内部に不活性ガスを導入するとともに、この導入された不活性ガスが、モータとガス軸受との何れか一方または両方を通過した後、ロータに接触し、ハウジング外部に排出されるように構成した不活性ガス流通経路を設けたことを特徴とするターボ形真空排気装置。
引用特許：
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