特許

J-GLOBAL ID：200903068057954964

LAPS型pHセンサ

発明者： ルドルフ ヘルマン ,  冨田 勝彦 ,  中西 剛 ,  田邉 裕貴
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318773
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203722
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 微小領域または微小表面さらには生物細胞中のpHを測定することができるLAPS型pHセンサを提供すること。【解決手段】 Si層2、SiO2 層3およびSi3 N4 層4をこの順で内側から外側に向かって積層して所謂MIS構造のセンサ部1を形成し、このセンサ部1に対して、内部または外部から光6を照射し、これによって、微小領域などの表面のpHを測定するようにした。

請求項（抜粋）：

Si層、SiO2 層およびSi3 N4 層をこの順で内側から外側に向かって積層してなり、先端が先細り状でかつ中空の円錐台状であるセンサ部の基部に光ファイバを挿入接続し、前記Si層側からセンサ部に対して光を照射するように構成したことを特徴とするLAPS型pHセンサ。

IPC (3件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/414 ,  G01N 37/00

FI (3件)：

G01N 27/46 U ,  G01N 37/00 H ,  G01N 27/30 301 Z