特許

J-GLOBAL ID：200903068059712321

液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置

発明者： 沖田 光隆
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002375
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206561
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 画素電極とドレイン電極との間のコンタクト不良による点欠陥の発生を抑制することができ、製品の歩留まりを著しく向上することができるとともに、画素電極とドレイン電極との接続部分での熱衝撃などにより電気的接続が切れることを防止することができ、製品の信頼性をも向上することができる液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置を提供する。【解決手段】 層間絶縁膜7に対して画素電極とドレイン電極とを電気的に接続するための開口部9を形成する際に、画素電極とドレイン電極との間で電気的に良好な接続特性が確保できるような形状の開口部9を形成する方法を確立して、その開口部9の形成方法により、画素電極とドレイン電極との間で電気的に良好な接続特性を確保する。

請求項（抜粋）：

透明基板の上に遮光性物質からなる走査線電極と信号線電極およびそれらの交点に非線形素子をマトリクス状に形成し、その上に樹脂により薄膜を形成しその樹脂膜中に断面がV字状の勾配をもった開口部を設けて層間絶縁膜を形成し、さらにその上に前記非線形素子の一つの電極と前記層間絶縁膜に設けた開口部を通じて電気的に接続されるように画素電極を形成する液晶表示装置の製造方法であって、前記層間絶縁膜の形成工程が、少なくとも、前記層間絶縁膜を形成するための樹脂を前記透明基板の上面側に塗布する工程と、前記塗布された樹脂に熱処理を施してその溶媒を蒸発させ前記樹脂膜を形成するためのプリベーク工程と、前記樹脂膜に対してパターニングにより前記開口部を形成するための露光および現像工程と、前記樹脂膜に対して脱色処理を行うための紫外線を照射するポストUV工程と、前記脱色処理された樹脂膜を硬化させて前記層間絶縁膜とするための熱処理を行うポストベーク工程とからなり、前記ポストUV工程の前に、前記プリベーク工程およびポストベーク工程とは別の熱処理を行なうためのベーク工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505

Fターム (22件)：

2H090HA04 ,  2H090HB08Y ,  2H090HC05 ,  2H090HC13 ,  2H090HC15 ,  2H090HC17 ,  2H090HD05 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H090MB01 ,  2H092JA03 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092JB56 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092MA37 ,  2H092NA13 ,  2H092NA15 ,  2H092NA29