特許
J-GLOBAL ID：200903068067024698
カンチレバーチップ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319124
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159677
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】試料の電気的特性の測定の間、探針と試料の相互間距離を一定に維持できる走査型プローブ顕微鏡を実現するためのカンチレバーチップを提供する。【解決手段】カンチレバーチップは、二個のカンチレバー102と104がガラス製の支持部106の端から並んで延出している。二個のカンチレバー102と104は共に窒化シリコン膜製で、それぞれ自由端に探針122と124を備えており、その両面は金薄膜212と214でコートされている。二個のカンチレバー102と104は大きさが異なり、例えば、カンチレバー102の長さは200μm、カンチレバー104の長さは100μmである。カンチレバー102とカンチレバー104は、支持部106に形成された溝116によって互いに分離されている。
請求項（抜粋）：
支持部と、支持部から延びた複数の片持ち梁とを有し、各片持ち梁は自由端に探針を備えており、複数の片持ち梁は互いの探針が電気的に絶縁された少なくとも二つの片持ち梁を含むことを特徴とするカンチレバーチップ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
