特許

J-GLOBAL ID：200903068070257822

露光システムおよび多層プリント配線板の製造方法

発明者： 足立 和正 ,  柳瀬 英之
出願人/特許権者： イビデン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-067806
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251745
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 感光性ドライフィルムに起因する付着物によりリングの輪郭が歪んだ場合や反射光により、リングの輪郭がにじんだ場合でも精度よく中心点位置座標を演算する。【解決手段】 感光性ドライフィルムが張り付けられた多層プリント配線板のリング状位置決めマークの画像データを細分区画し、各区画の明度を数値化し、付着物に対応する区画の数値をリングに対応する数値に変換してリングの中心点位置座標を演算する。また、反射光によりリングがにじむ場合は、にじみの輪郭が生じる領域と付着物が存在する領域に分け、にじみ領域および付着物が存在する領域のそれぞれから円の中心点位置座標を演算する。さらにフォトマスクフィルムの黒円の中心点位置座標を演算し、リング状位置決めマークとフォトマスクフィルムの黒円の中心点位置座標が一致するように駆動データを作成し、両者を一致させて露光する。

請求項（抜粋）：

導体層が形成されたプリント配線板に感光性ドライフィルムを載置し、このドライフィルムに導体パターンおよび黒円が描画されたフォトマスクフィルムを載置し、露光するための露光システムであって、露光のための光源、プリント配線板またはフォトマスクフィルムを位置合わせするための駆動装置、該駆動装置を制御するための制御部、プリント配線板およびフォトマスクフィルムの黒円を読み取るためのカメラ、カメラからの画像データおよび演算結果を記憶する記憶部、および演算部を有してなり、プリント配線板には、リング状凹部およびその凹部を被覆するめっき膜からなる位置決めマークが設けられ、この位置決めマークからの反射光をカメラで読み取り、これを記憶部に記憶し、この画像データを記憶部から再度読み出し、演算部において、画像を細分区画化し、各区画の明度を多段階的に数値化して、これを記憶部に記憶するとともに、再度この数値化した画像データを記憶部から読み出して、演算部にて一定の明度以下の数値を示す区画の明度を、リングの反射光の明度に該当する数値に変換し、この変換した数値データから、リングの中心点の位置座標を演算し、この位置座標を記憶部に格納し、一方、フォトマスクフィルムに描画された黒円をカメラで読み取り、これを記憶部に記憶し、この画像データを記憶部から再度読み出し、演算部において、画像を細分区画化し、各区画の明度を多段階的に数値化して、これを記憶部に記憶するとともに、この数値データから、黒円の中心点の位置座標を演算し、この位置座標を記憶部に格納し、演算部にて位置決めマークの中心点の位置座標と黒円の中心点の位置座標を一致させるために必要な駆動データを演算して、これを記憶部に格納し、記憶部から制御部へこの駆動データを送信して、制御部において駆動装置を動作させて、プリント配線板とフォトマスクフィルムの位置合わせを行い、光源を用いて露光する露光システム。

IPC (2件)：

H05K 3/46 ,  G03F 7/20 511

FI (3件)：

H05K 3/46 E ,  H05K 3/46 N ,  G03F 7/20 511