特許

J-GLOBAL ID：200903068070824867

荷電粒子線照射装置

発明者： 菅沼 忠雄
出願人/特許権者： 株式会社ビームテック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156020
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333525
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】〔目的〕荷電粒子線源を収容するチャンバーやアパーチャ等に粒子線が衝突することを防ぎ、チャンバーへのガスの流入を減少させ、その結果、線源へのガスの吸着やイオンのアタック等を減らし、線源の性能と寿命を改善する。〔構成〕荷電粒子線源と、荷電粒子線源を収容するチャンバーと、チャンバーを排気する排気装置とを設け、チャンバーの出口に最初のアパーチャを設け、荷電粒子線の焦点をアパーチャの面に結ばせるレンズを設ける。

請求項（抜粋）：

〔請求項1〕 荷電粒子線源と、荷電粒子線源を収容するチャンバーと、チャンバーを排気する排気装置とを設け、チャンバーの出口に最初のアパーチャを設け、荷電粒子線の焦点をアパーチャの面に結ばせるレンズを設けた事を特徴とする荷電粒子線照射装置。〔請求項2〕 アパーチャ面における荷電粒子線の焦点の位置を調節する手段と、アパーチャに吸収された電流を検出する手段とを設けた、請求項1記載の荷電粒子線照射装置。

IPC (4件)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/09