特許

J-GLOBAL ID：200903068081621542

圧力センサ

発明者： 蘭 宗樹
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-179650
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026751
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 800°C近くの高温度でも高感度で安定した出力を得ることが可能な圧力センサを提供する。【構成】 サファイア基板1上にダイアフラム3が形成され,前記ダイアフラム3の表面にAlN(圧電セラミック)薄膜からなるSAW発振手段4を形成した。

請求項（抜粋）：

サファイア基板にダイアフラムが形成され,前記ダイアフラムの表面にAlN薄膜からなるSAW発振手段を形成したことを特徴とする圧力センサ。