特許
J-GLOBAL ID：200903068083142307
表面皮膜の性状評価方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069774
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267882
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】金属等の表面に形成された皮膜の性状を、非破壊で、しかも迅速に評価することができる評価方法、およびそのための装置を提供する。【解決手段】(1)吸着ガス(例えば水蒸気)を含む雰囲気中において、前記吸着ガスの濃度を変えてそれぞれのケルビン電位を測定し、あらかじめ求めてある表面皮膜の性状と前記ケルビン電位との関係に基づいて前記皮膜の性状を評価する。(2)基準電極としてのプローブ3と、プローブ駆動装置2と、被測定物(試料3)およびプローブの間に形成されるコンデンサの容量の時間的変化に伴い発生する交流電場を打ち消すための外部電圧を被測定物に印加するバイアス用電源5とを有し、吸着ガス雰囲気中でガスの吸着、脱着を生じさせつつケルビン電位を測定できるように構成された装置。
請求項（抜粋）：
被測定物に相対する位置に配置されたプローブを基準として、このプローブを振動させながら、被測定物とプローブの間に形成されるコンデンサの容量の時間的変化に伴い回路に発生する交流電場を打ち消すために被測定物に印加する外部電圧を測定することにより表面に皮膜を有する被測定物の表面皮膜の性状を評価する方法であって、吸着ガスを含む雰囲気中において、前記吸着ガスの濃度を変えてそれぞれの前記外部電圧を測定し、あらかじめ求めてある表面皮膜の性状と前記外部電圧との関係に基づいて前記皮膜の性状を評価することを特徴とする表面皮膜の性状評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/24
, G01N 27/22 C
