特許

J-GLOBAL ID：200903068098201601

樹脂蒸着成膜方法及び装置

発明者： 滝澤 貴博 ,  長沼 壮一 ,  新井 康司 ,  宮澤 和利
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-342424
公開番号（公開出願番号）：特開2004-176111
出願日： 2002年11月26日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】比較的簡単に樹脂膜厚分布の均一性を向上できかつ長期間にわたってその膜厚分布を確保できる樹脂蒸着成膜方法及び装置を提供する。【解決手段】蒸発部14で樹脂を加熱して発生させた樹脂蒸気を、バルブ部16と助走部17を介して回転するドラム状のキャンロール2の円筒面に供給して蒸着させる樹脂蒸着成膜装置において、助走部17にキャンロール2の円筒面に対向するように複数のノズル穴24を有する調整板23を配設し、蒸発部14側とキャンロール2側の間に圧力差を形成するとともにノズル穴24の大きさと分布によって膜厚分布を調整するようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

樹脂を加熱して発生させた樹脂蒸気を回転するドラム状のキャンロールの円筒面に供給して蒸着させる樹脂蒸着成膜方法であって、キャンロールの円筒面に対向するように複数のノズル穴を配置し、蒸発側とキャンロール側の間に圧力差を形成するとともにノズル穴の大きさと分布によって膜厚分布を調整することを特徴とする樹脂蒸着成膜方法。

IPC (3件)：

C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H01G4/33

FI (3件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/12 ,  H01G4/06 102

Fターム (19件)：

4K029AA25 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029JA10 ,  4K029KA01 ,  5E082AB01 ,  5E082BB07 ,  5E082BC14 ,  5E082EE05 ,  5E082FF05 ,  5E082FG03 ,  5E082FG34 ,  5E082FG42 ,  5E082JJ10 ,  5E082MM23 ,  5E082MM24