特許

J-GLOBAL ID：200903068101755621

イオン源用加速管

発明者： 木村 寿男 ,  馬場 隆
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297894
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118524
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】イオン源用加速管の内部で負イオンが残留ガスと衝突することにより生じた正イオンがシールド電極に流入して、シールド電極と引出電極との間の電圧を上昇させるのを防いで、両電極間で絶縁破壊が生じるのを防止すること。【解決手段】イオン源1により生成された負イオンを、イオン源1と引出電極5との間、及び引出電極5と加速電極8との間にそれぞれ印加した加速電圧により加速してイオンビームを得るイオン源用加速管2において、引出電極5とシールド電極6との間に接続された分圧用抵抗R2 の両端にツェナーダイオードZDを接続して、分圧用抵抗R2 の両端の電圧を引出電極5とシールド電極6との間の絶縁耐力以下に制限する。

請求項（抜粋）：

ガスを用いて生成したプラズマガスを利用してイオンを発生させるイオン源から放出されるイオンの移動方向の前方に配置された引出電極と、前記引出電極を通過したイオンの移動方向の前方に配置された加速電極と、前記加速電極を囲むように配置されたシールド電極と、前記加速電極とイオン源との間に印加される加速電圧を分圧して前記イオン源と前記引出電極との間、前記引出し電極とシールド電極との間、及び前記シールド電極と加速電極との間にそれぞれ印加する抵抗分圧回路とを備えたイオン源用加速管において、前記引出電極とシールド電極との間に接続された分圧用抵抗の両端にツェナーダイオードが並列接続され、前記ツェナーダイオードの降伏電圧は、前記引出電極とシールド電極との間に印加されるべき正規の分担電圧以上で、かつ前記引出電極とシールド電極との間の絶縁耐力を超えない値に選定されていることを特徴とするイオン源用加速管。

IPC (3件)：

H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H05H 9/00

FI (3件)：

H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H05H 9/00 B

Fターム (8件)：

2G085AA01 ,  2G085BA02 ,  2G085BA05 ,  2G085BA06 ,  2G085BB01 ,  2G085BB07 ,  5C030DE10 ,  5C030DG09