特許
J-GLOBAL ID：200903068113087020
ウエハ異物の立体的マツプ表示方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047884
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 ウエハに付着した微粒子およびヘイズよりなる異物の検査装置において、短時間の処理により、ヘイズの密度分布とその傾斜状態を明瞭に観察でき、ヘイズと区別して微粒子も明確に観察できる立体的なマップ表示を提供する。【構成】 受光系の受光信号より、ハイパスフィルタおよびバンドパスフィルタにより、微粒子およびヘイズに対する信号成分をそれぞれ抽出し、抽出された各信号成分を、タイミング信号によりサンプリングし、ウエハを細分した単位セルに対応した表示エレメントを作成する。この表示エレメントの形状を、単位セルの長さの底辺を有し、受光信号の強度に比例した高さを有する棒形または三角形として異物を立体的にマップ表示する。【効果】 ヘイズの密度分布とその傾斜状態、ならびに微粒子がそれぞれ明瞭に観察され、短時間の処理により表示エレメントが作成、表示されて流れ作業のウエハ検査に適用できるもので、極めて高集積度のLSI,ULSIに対するウエハの異物検査に寄与する。
請求項（抜粋）：
被検査のウエハの表面に対してレーザビームを投射し、該表面に付着した微粒子またはヘイズよりなる異物の散乱光を受光系により受光し、ハイパスフィルタおよびバンドパスフィルタにより、該受光系の受光信号より該微粒子および該ヘイズに対する信号成分をそれぞれ抽出し、該抽出された各信号成分により前記異物を表示器にマップ表示するウエハ異物検査装置において、前記各信号成分をタイミング信号によりサンプリングし、前記ウエハを細分した単位セルに対応した表示エレメントを作成し、かつ、該表示エレメントの形状を、該単位セルの長さの底辺を有し、前記異物の散乱光の強度に比例した高さを有する棒形または三角形として前記異物を立体的にマップ表示することを特徴とする、ウエハ異物の立体的マップ表示方式。
IPC (2件)：
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