構造物検査装置、及び、構造物検査方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-130579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311709
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】作業者の勘に頼らない定量的な評価、検査に要するコストの大幅な削減、深い欠陥の検査を可能にする。【解決手段】照射波長領域5μm〜20μmの赤外線を構造物Tに照射する光源6と、その赤外線が照射された構造物Tを撮影する撮影器11と、撮影器11により撮影された赤外線映像に基づいて温度分布画像を作成し、その温度分布画像に基づいて構造物Tの欠陥部位を検出する画像データ処理器18とを含む。照射波長領域の選定により、課題を解決することができる。撮影器11が有する適正感度の検出波長領域は照射波長領域に存在することが特に重要である。照射波長領域が限定された赤外線は、構造物に深く浸透し、且つ、撮影器11の受光感度に対して適正である。構造物Tに深く存在する欠陥を検出することができる。検出波長領域は、8μm〜13μmに限定されることが実用性の点で更に重要である。

請求項（抜粋）：

照射波長領域1μm〜50μmの赤外線を構造物に照射する光源と、前記赤外線が照射された前記構造物を撮影する撮影器と、前記撮影器により撮影された赤外線映像に基づいて温度分布画像を作成し、前記温度分布画像に基づいて前記構造物の欠陥部位を検出する画像データ処理器とを含み、前記撮影器が有する適正感度の検出波長領域は前記照射波長領域に存在する構造物検査装置。

IPC (5件)：

G01N 25/72 , E21D 9/00 , G01J 5/48 , G01N 21/84 , G01N 21/954

FI (5件)：

G01N 25/72 K , E21D 9/00 Z , G01J 5/48 A , G01N 21/84 B , G01N 21/954 Z

Fターム (42件)：

2G040AA05 , 2G040AA07 , 2G040AB08 , 2G040BA02 , 2G040BA14 , 2G040BA25 , 2G040BA26 , 2G040BA28 , 2G040CA02 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040DA06 , 2G040DA12 , 2G040DA15 , 2G040DA25 , 2G040EA06 , 2G040EB02 , 2G040EC03 , 2G040HA02 , 2G040HA08 , 2G040HA16 , 2G040ZA05 , 2G051AA82 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AB06 , 2G051AC15 , 2G051AC17 , 2G051BA06 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CD04 , 2G051CD05 , 2G051EA14 , 2G051FA10 , 2G066AC09 , 2G066BA14 , 2G066BC21 , 2G066CA02 , 2G066CA04

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