特許
J-GLOBAL ID：200903068117048070
故障検出方法及び検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064941
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264676
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 製造された半導体の製造上の欠陥である配線間のブリッジ故障を、検査対象に余分な検査用の回路を設けなくても検出することを目的とする。【構成】 半導体のレイアウトパターンからブリッジが起こり得る隣接配線を抽出するステップと、この隣接配線が論理値1と0の組み合わせになる入力論理値を求めるステップと、故障検出のために上記入力論理値を加えて、その時の消費電流値を正常時の消費電流値と比較するステップを備えた。
請求項（抜粋）：
半導体のレイアウトパターンからブリッジが起こり得る隣接配線を抽出するステップと、上記隣接配線が論理値1と0の組み合わせになる入力論理値を求めるステップと、故障検出のために上記入力論理値を加え、その時の消費電流値を正常時の消費電流値と比較するステップを備えた故障検出方法。
IPC (3件)：
G01R 31/318
, G06F 11/22 310
, G06F 11/22 330
