特許
J-GLOBAL ID：200903068126128613
LEDヘッド検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川合 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002604
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187891
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】1回の走査で偶数ドットの光量分布及び奇数ドットの光量分布を同時に測定することができるようにする。【構成】LEDヘッド15と、第1光量センサ51と、第1光量センサ51と設定された距離を置いて配設された第2光量センサ52と、第1光量センサ51及び第2光量センサ52を結像線に沿って移動させる移動テーブル24と、制御装置とを有する。制御装置は、第1光量センサ51のスリットの位置に対応させて第1点灯領域を、第2光量センサ52のスリットの位置に対応させて第2点灯領域を設定し、第1点灯領域内の奇数ドットのLED10及び第2点灯領域内の偶数ドットのLED10を点灯させる。第1光量センサ51によって第1点灯領域内の奇数ドットの各LED10の光量を、第2光量センサ52によって第2点灯領域内の偶数ドットの各LED10の光量を順次検出することができる。
請求項（抜粋）：
(a)複数のLEDが配設されたLEDヘッドと、(b)前記LEDの結像線上にスリットを位置させて配設された第1光量センサと、(c)前記結像線上にスリットを位置させ、前記第1光量センサと設定された距離を置いて配設された第2光量センサと、(d)前記第1光量センサ及び第2光量センサを搭載し、前記結像線に沿って移動させられる移動テーブルと、(e)制御装置とを有するとともに、(f)該制御装置は、前記第1光量センサのスリットの位置に対応させて第1点灯領域を、前記第2光量センサのスリットの位置に対応させて第2点灯領域を設定し、第1点灯領域内の奇数ドットのLED及び第2点灯領域内の偶数ドットのLEDを点灯させることを特徴とするLEDヘッド検査装置。
IPC (5件)：
B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G01M 11/00
, H01L 33/00
