特許

J-GLOBAL ID：200903068130044319

変位検出装置

発明者： 田宮 英明
出願人/特許権者： ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-021142
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233172
出願日： 2003年01月29日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】任意の原点信号を選択する。【解決手段】所定の間隔で回折格子が記録されている第1の領域12aと、第1の領域12aとは異なる間隔で回折格子が記録されており、n次の回折光を遮光する遮光板又は反射する反射板が形成されている第2の領域12bとからなる移動可能なスケール12と、第1の領域12aに記録されている回折格子により発生される回折光に基づき第1の位相を検出し、第2の領域12bに記録されている回折格子により発生されるn次以外の回折光に基づき第2の位相を検出し、第1の位相と第2の位相とを比較し、原点信号を発生する原点信号発生手段17と、第2の領域12bに記録されている回折格子により発生されたn次の回折光の光量を検出する光量検出手段60,61と、当該検出結果に基づき原点信号発生手段17から発生される原点信号の中から任意の原点信号を選択する選択手段18とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の間隔で回折格子が記録されている第1の領域と、上記第1の領域とは異なる間隔で回折格子が記録されており、当該回折格子により発生されるn次の回折光を遮光する遮光板又は反射する反射板が形成されている第2の領域とからなる移動可能なスケールと、 上記第1の領域に記録されている回折格子により発生される回折光を読み取る第1の読取手段と、 上記第1の読取手段により読み出した上記回折光に基づき第1の位相を検出する第1の位相検出手段と、 上記第2の領域に記録されている回折格子により発生されるn次以外の回折光を読み取る第2の読取手段と、 上記第2の読取手段により読み出した上記n次以外の回折光に基づき第2の位相を検出する第2の位相検出手段と、 上記第1の位相と上記第2の位相とを比較する位相比較手段と、 上記位相比較手段の比較結果に応じて、原点信号を発生する原点信号発生手段と、 上記第2の領域に記録されている回折格子により発生されたn次の回折光の光量を検出する光量検出手段と、 上記光量検出手段の検出結果に応じて上記原点信号発生手段から発生される原点信号の中から任意の原点信号を選択する選択手段とを備え、 上記第1の領域と上記第2の領域は、同一の測定方向に等量分変位するように上記スケール上に形成されていることを特徴とする変位検出装置。

IPC (2件)：

G01D5/38 ,  G01D5/36

FI (2件)：

G01D5/38 A ,  G01D5/36 X

Fターム (10件)：

2F103BA32 ,  2F103CA04 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103EB02 ,  2F103EC04 ,  2F103EC13 ,  2F103EC14 ,  2F103ED02 ,  2F103ED06