元素マッピング装置、走査透過型電子顕微鏡及び元素マッピング方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-266783
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】測定領域と複数の測定元素を指定すると、実時間で複数元素のマッピング像を取得できる元素マッピング装置を備えた走査透過型電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】試料を透過した電子線を電子分光装置でエネルギー分光し、電子エネルギー損失スペクトルを電子線検出器で検出する。測定する複数元素の全てのコアロスピークを検出できるように、元素マッピング装置の光学系を調整し、複数元素毎に各元素のコアロスピーク電子線強度を演算し、各元素の演算結果を色を代えて画像表示する。【効果】複数元素のコアロスピークを同時に測定し、それらの電子線強度を用いて元素分布像を観察することにより、精度のよい複数元素の元素分布を得ることができる。

請求項（抜粋）：

電子線のエネルギー分光を行う電子分光部と、前記電子分光部により分光された前記電子線の一部または全部を検出する電子線検出部と、前記電子線検出器で検出するエネルギー損失スペクトルを拡大する拡大磁場レンズと、分析対象の元素のコアロスエネルギーのデータベースを記憶する記憶部と、前記電子線検出部の出力と前記記憶部の出力とに基づいて計算する演算装置と、前記演算装置の計算結果を表示する画像表示装置とを有する元素マッピング装置において、前記電子線検出器で検出するエネルギー損失スペクトルに、複数元素のコアロスピークが含まれるように前記拡大磁場レンズを制御し、前記複数元素の各元素のコアロスピークを含む電子線強度を用いて前記演算装置で演算した各元素の結果を、前記画像表示装置の画像の同一場所に表示する制御装置を有することを特徴とする元素マッピング装置。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , G01N 23/04 , H01J 37/22 502

FI (3件)：

H01J 37/28 C , G01N 23/04 , H01J 37/22 502 H

Fターム (22件)：

2G001AA03 , 2G001BA12 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001DA08 , 2G001EA05 , 2G001FA06 , 2G001FA09 , 2G001FA25 , 2G001GA01 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001JA13 , 2G001KA01 , 2G001LA11 , 5C033SS03 , 5C033SS04 , 5C033SS07 , 5C033SS08 , 5C033SS10

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