特許
J-GLOBAL ID:200903068136084037

光重合性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-039653
公開番号(公開出願番号):特開平5-241340
出願日: 1992年02月26日
公開日(公表日): 1993年09月21日
要約:
【要約】【目的】 剥離片が微細で、かつエッジフュージョンが発生しにくい、アルカリ水溶液で処理可能な光重合性組成物を提供する。【構成】 光重合性組成物が、(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物であって、該カルボキシル基含有バインダーが、スチレン/(メタ)アクリル酸の共重合体(重量平均分子量1、000〜100、000)を、全バインダーの5〜50重量%含む。
請求項(抜粋):
(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物であって、該カルボキシル基含有バインダーが、スチレン/(メタ)アクリル酸の共重合体(重量平均分子量1、000〜100、000)を、全バインダーの5〜50重量%含むことを特徴とする光重合性組成物。
IPC (7件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開昭64-055551
  • 特開平2-191955
  • 特開平4-122937
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