特許
J-GLOBAL ID：200903068142918594
スパツタ用ターゲツト部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮崎 新八郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-218528
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041735
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：
【要約】【目的】 金属薄膜型磁気記録媒体における、磁気記録層(磁性膜)に対する下地膜のスパツタ成膜に使用されるターゲツト部材の改良。【構成】 このターゲツト部材は、Cr100-X BX 〔但し、原子%を表すXは1〜10〕の化学組成を有する、相対密度98%以上の焼結体(好ましくは熱間等方圧加圧焼結体)からなる。このターゲツト部材を使用して形成したB含有Cr膜を下地膜として磁性膜を積層成膜することにより磁気記録媒体の保磁力(Hc)、記録/再生ノイズ特性等の磁気特性が改善される。
請求項（抜粋）：
金属薄膜型磁気記録媒体における磁気記録層の下地膜をスパツタ成膜するためのターゲツト部材であつて、次式Cr100-X BX 〔式中、原子%を表すXは1〜10である〕で示される化学組成を有し、相対密度98%以上の焼結体であることを特徴とするターゲツト部材。
IPC (2件)：
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